Browsing by Author CHEN,JUN-LIN
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| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 1990 | CCl F 及CHF 氣體在活性離子蝕刻系統中對Si及SiO 表面之蝕刻及成膜行為 | 陳俊麟; CHEN,JUN-LIN; 龍文安; LONG,WEN-AN; 應用化學系碩博士班 |
| Issue Date | Title | Author(s) |
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| 1990 | CCl F 及CHF 氣體在活性離子蝕刻系統中對Si及SiO 表面之蝕刻及成膜行為 | 陳俊麟; CHEN,JUN-LIN; 龍文安; LONG,WEN-AN; 應用化學系碩博士班 |