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Browsing by Author Chia-Shui Lin

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2005化學機械研磨機台製程設備模擬器及控制器之設計與實作陳鼎銘; Ting-Ming Chen; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2004化學機械研磨移除厚度之批片雙模式自適應控制黃俊霖; Geung-Lin Huang; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2007化學機械研磨製程之控片與樣片之移除率及不平坦度預測與分析袁啟文; Chi-Wen, Yuan; 陳宗麟; 林家瑞; Tsung-Lin Cheng; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2006多輸入多輸出化學機械研磨製程控制陳盈瑞; Ying-Ruey Chen; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2005應用微影覆蓋誤差的錯誤診斷分析改善微影製程總體設備效能黃育昌; Yu-Chang Huang; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 工學院精密與自動化工程學程
2005應用福特8D及限制理論問題解決方法改善化學機械研磨製程總體設備效能王升暉; Sheng-Hui Wang; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 工學院精密與自動化工程學程
2003變壓耦合式電漿二維流體模型與批次電漿蝕刻設備控制李介民; Chieh-Min Lee; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2007電漿輔助化學氣相沉積製程之模型分析與批次最佳化控制余偉庭; Wei-Ting Yu; 鄭泗東; 林家瑞; Stone Cheng; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
2005電漿輔助化學氣相沉積設備之射頻阻抗匹配網路的模型建立與控制器設計邱文志; Wen-Chih chiu; 林家瑞; Chia-Shui Lin; 機械工程學系
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