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Browsing by Author Ming-Shih Tsai

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2005ULSI嵌入式銅導線無砥粒化學機械平坦化技術方政煜; Jeng-Yu Fang; 馮明憲; 蔡明蒔; Ming-Shiann Feng; Ming-Shih Tsai; 材料科學與工程學系
2001各類型奈米氧化鋯漿料之合成及其對銅與淺溝槽隔離化學機械研磨之效應蘇旺申; Wang-Shen Su; 涂肇嘉; 蔡明蒔; George C. Tu; Ming-Shih Tsai; 材料科學與工程學系
2002運用分子自我組裝在矽晶片上-微影圖形製作與化學感測器之應用研究林福龍; lin fu-long; 馮明憲; 蔡明蒔; Ming-Shiann Feng; Ming-Shih Tsai; 材料科學與工程學系
2000選擇性接觸置換之無電鍍銅導線製程研究李音頻; 89nctu0159018; 馮明憲; 蔡明蒔; Ming-Shiann Feng; Ming-Shih Tsai; 材料科學與工程學系
2000銅導線化學機械研磨之研究—機制,膠體研磨粒子漿料及在嵌入式製程之應用劉靜茵; Jing - In Liu; 涂肇嘉; 蔡明蒔; George C. Tu; Ming-Shih Tsai; 材料科學與工程學系
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