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National Chiao Tung University Institutional Repository
瀏覽 的方式: 作者 Siu Tang, Ng
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標題
作者
2005
探討化學氣相沉積在先進動態隨機存取記憶體淺溝槽絕緣的填洞能力
吳兆騰
;
Siu Tang, Ng
;
潘扶民
;
Fu-Ming Pan
;
工學院半導體材料與製程設備學程