Title: 散熱基板與其製作方法
Authors: 吳耀銓
張岱民
邱郁珈
胡人立
Issue Date: 16-Oct-2013
Abstract: 本發明提供一種散熱基板與其製作方法。該散熱基板包括:一基板,其具有一表面;複數下凹區域,其形成於該表面;以及複數鑽石材料,其填充於該複數下凹區域。該散熱基板製作方法包括以下步驟:(a)在一基板的一表面形成複數下凹區域;以及(b)填充複數鑽石材料於該複數下凹區域。
Gov't Doc #: H01L021/02
H01L023/373
H01L023/14
URI: http://hdl.handle.net/11536/103193
Patent Country: TWN
Patent Number: 201342423
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