标题: | 可同时量测光学晶体厚度及光轴之影像式偏极光量测方法 |
作者: | 黄中垚 李建立 |
公开日期: | 1-十一月-2005 |
摘要: | 本发明提供一种可同时量测光学晶体厚度及光轴之影像式光学量测方法,其系利用同一偏光仪架构先进行析光片旋转量测,以透过析光片连续变化之不同方位角来取得相对应之一系列的光强度变化影像,并将该等影像拟合以得到晶体薄膜之光轴投影在薄膜平面之投影光轴指向,接着再进行样品旋转量测,以连续调整偏极光对于薄膜之入射角,进而测得薄膜光轴在三维空间的指向和厚度之二维分布。因此本发明在仅使用一量测架构之前提下,可同时测得光学晶体之厚度及其光轴指向,并可达成降低量测成本、经济、量测方便及测值精确等功效。 |
官方说明文件#: | G01N021/17 G01B011/06 G01N021/17 G01B011/06 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/104224 |
专利国: | TWN |
专利号码: | 200535411 |
显示于类别: | Patents |
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