标题: | 低寄生旋转二维平面奈米定位器之设计 Design of Two-Dimension Planar Nano-Positioner with Low Parasitical Rotation |
作者: | 洪绍刚 Hung Shao-Kang 国立交通大学机械工程学系(所) |
公开日期: | 2014 |
官方说明文件#: | MOST103-2221-E009-019 |
URI: | http://hdl.handle.net/11536/99828 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=8312693&docId=439000 |
显示于类别: | Research Plans |