标题: 低寄生旋转二维平面奈米定位器之设计
Design of Two-Dimension Planar Nano-Positioner with Low Parasitical Rotation
作者: 洪绍刚
Hung Shao-Kang
国立交通大学机械工程学系(所)
公开日期: 2014
官方说明文件#: MOST103-2221-E009-019
URI: http://hdl.handle.net/11536/99828
https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=8312693&docId=439000
显示于类别:Research Plans