| Title: | 塗佈裝置以及控制磁性流體之方法 |
| Authors: | 陳慶耀 巫文良 |
| Issue Date: | 1-Nov-2014 |
| Abstract: | 本發明提供一種塗佈裝置以及控制磁性流體之方法，其是利用一徑向磁場施加於一磁性流體，以驅使磁性流體自徑向磁場之中心往外輻射狀延展，藉以避免旋轉塗佈技術所產生的問題。 |
| Gov't Doc #: | B05C009/08 H01L021/30 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/105486 |
| Patent Country: | TWN |
| Patent Number: | I458567 |
| Appears in Collections: | Patents |
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