| 标题: | 一维钛金属奈米结构及其制造方法 |
| 作者: | 陈泽龙 裘性天 李紫原 |
| 公开日期: | 11-八月-2015 |
| 摘要: | 一种一维钛金属奈米结构之制造方法，其步骤包含：将一耐温基材与一钛金属(Ti)置入一化学气相沉积反应炉中；及利用一载流气体将一四氯化钛(TiCl4 )带入该化学气相沉积反应炉和该钛金属进行反应，且反应温度为300~900℃，沉积温度为200~850℃，该载流气体之流量为0.1~50sccm，反应时间为5~60小时，使该四氯化钛与该钛金属反应为一亚氯化钛，再经由热裂解而生成一一维钛金属奈米结构于该耐温基材上。 |
| 官方说明文件#: | B82B001/00 B82B003/00 |
| URI: | http://hdl.handle.net/11536/128750 |
| 专利国: | TWN |
| 专利号码: | I495612 |
| 显示于类别： | Patents |
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