複晶矽電阻之研究與氫氣對混合模式製程之影響

标题:	复晶矽电阻之研究与氢气对混合模式制程之影响 A study of poly-si resistor and effects of hydrogen on mixed-mode process
作者:	刘建志 Liu, Jian Zhi 冯明宪许顺良 Feng, Ming Xian Xu, Shun Liang 材料科学与工程学系
公开日期:	1994
URI:	http://140.113.39.130/cdrfb3/record/nctu/#NT832159009 http://hdl.handle.net/11536/59673
显示于类别：	Thesis

APA	刘., Liu, J. Zhi, 冯., 许., Feng, M. Xian, & Xu, S. Liang (1994). 复晶矽电阻之研究与氢气对混合模式制程之影响. http://hdl.handle.net/11536/59673.
Bibtex	@article{刘建志 and Liu1994, title={复晶矽电阻之研究与氢气对混合模式制程之影响}, author={刘建志 and Liu, Jian Zhi and 冯明宪 and 许顺良 and Feng, Ming Xian and Xu, Shun Liang}, journal={http://hdl.handle.net/11536/59673}, year={1994}, url={http://140.113.37.243/handle/11536/59673?locale=zh_CN}, }