矽基氮化鎵LED磊晶MOCVD設備之工業基礎技術之研究計畫﹝II﹞

標題:	矽基氮化鎵LED磊晶MOCVD設備之工業基礎技術之研究計畫﹝II﹞
作者:	成維華 CHIENG WEI-HUA 國立交通大學機械工程學系（所）
公開日期:	2013
官方說明文件#:	NSC102-2623-E009-007-IT
URI:	http://hdl.handle.net/11536/93418 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=2956634&docId=412853
Appears in Collections:	Research Plans