對運送半導體晶片之機械臂之最短時間路徑控制

Title:	對運送半導體晶片之機械臂之最短時間路徑控制 Time-Optimal Control of a Semiconductor Wafer Handling Robot
Authors:	金甘平交通大學機械工程學系
Issue Date:	1993
Gov't Doc #:	NSC82-0422-E009-323
URI:	http://hdl.handle.net/11536/97989 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=55174&docId=8096
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