對運送半導體晶片之機械臂之最短時間路徑控制

標題:	對運送半導體晶片之機械臂之最短時間路徑控制 Time-Optimal Control of a Semiconductor Wafer Handling Robot
作者:	金甘平交通大學機械工程學系
公開日期:	1993
官方說明文件#:	NSC82-0422-E009-323
URI:	http://hdl.handle.net/11536/97989 https://www.grb.gov.tw/search/planDetail?id=55174&docId=8096
Appears in Collections:	Research Plans